📰 华洋精机联手蔡司推出半导体测量设备 COSMA-M，支持纳米级精度

IT之家 10 月 9 日消息，中国台湾地区半导体设备制造商华洋精机本月 5 日宣布携手 ZEISS（蔡司）推出瞄准光罩（掩膜）、先进封装、晶圆领域高精度测量需求的 COSMA-M。

该设备可提供纳米级测量精度，稳定度达 3σ＜3nm，能满足先进制程对高精度测量的严苛要求

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