📰 尼康 2027 年 1 月发售对准站 Litho Booster 1000，提升套刻精度

IT之家 8 月 3 日消息，Nikon（尼康）7 月 30 日宣布，该企业将于 2027 年 1 月底发售半导体制造设备新品锐布 Litho Booster 1000 对准站。这一设备与现有机型相比实现了约 35% 的测量精度提升和 10% 的晶圆吞吐量提升。

对准站是可并置于光刻机旁的测量设备。其可在不降低产能的前提下对晶圆形变与偏移进行高精度测

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