📰 三星晶圆代工计划在 1nm 级制程节点实现 High NA EUV 商业应用
三星晶圆代工计划在 1nm 级制程节点实现 High NA EUV 商业应用
IT之家 8 月 11 日消息,根据韩媒 ZDNET Korea 当地时间今日的现场采访报道,来自三星电子半导体研究院晶圆代工工艺开发团队的 박창민 (Park Chang Min) 表示,该企业计划在 1nm 级工艺制程节点实现 High NA EUV 设备的商业化应用。

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