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📰 全球首发:国产镓仁半导体建成 6/8 英寸氧化镓同质外延量产线

全球首发:国产镓仁半导体建成 6/8 英寸氧化镓同质外延量产线

IT之家 7 月 6 日消息,杭州镓仁半导体有限公司(下称“镓仁半导体”)今年 6 月宣布,基于自研铸造法单晶生长与 MOCVD 外延工艺,建成全球首条 6/8 英寸氧化镓同质外延量产线,向头部芯片客户批量供货。

在长晶环节,镓仁半导体依靠全球独创的铸造法长晶技术,稳定生长出超厚氧化镓晶体。结合公司超薄衬底加工技术,将衬底出片量提升至原有 3 至 4 倍。此外,铸造法也进一步降低了贵金属铱的用量,使衬底单片成本较原来降低 80% 以上,显著降低下游器件厂商的材料成本。

在外延环节,镓仁半导体技术团队针对(100)面特点优化关键工艺参数,设计特色 MOCVD 外延工艺,成为全球首家且唯一一家商用 6 英寸氧化镓同质外延的供货厂商。公司出品的 6 英寸氧化镓同质外延片外延层厚度大于

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