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📰 填补国内空白:我国建成首套高精度圆度基准装置,圆度测量不确定度从 20nm 降至 6nm

填补国内空白:我国建成首套高精度圆度基准装置,圆度测量不确定度从 20nm 降至 6nm

IT之家 7 月 7 日消息,据央视新闻昨日报道,我国首套高精度圆度基准装置正式建成。

据介绍,该装置由中国计量科学研究院研制完成,其建成标志着我国在高精度圆度测量领域实现了跨越式发展,整体技术能力跻身国际先进行列。

IT之家注:圆度是几何量形位公差体系中的核心基础参数之一,其测量精度直接关系到精密主轴、先进光学元件、半导体芯片等高端制造产品的性能表现和装配质量

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